全自动四探针方块电阻测试系统
产品概要
四探针方块电阻测试系统是一种高精度的测量设备，具备可靠性好、操作简便等优点，对于微电子器件的设计、生产和质量控制具有重要意义。
基本信息
| 产品型号 | SR8/SR12 | 工作环境 | 常高温，屏蔽 |
| 电力需求 | / | 操控方式 | 全自动 |
| 产品尺寸 | 可定制 | 设备重量 | 可定制 |
应用方向
半导体材料、太阳能电池材料（硅、多晶硅、碳化硅等）、新材料、功能材料（碳纳米管、DLC、石墨烯、银纳米线等）、导电薄膜（金属、ITO等）、硅相关薄膜(LTPS等）、扩散层测试、其他（*详情请与我们联系）
技术特点
技术特点
●SR8兼容6/8寸晶圆，SR12兼容8/12寸晶圆
●按照产线全自动量测性能设计，测试效率高
●单/双探头配置，适合不同应用场景
●可选配SECS/GEM厂务通讯协议
●符合ASTM and JIS 行业标准
