>卡盘XY移动平台（标准配置）

型号	C6	C8	C12
XY行程范围	205mm x205 mm		305mm x305 mm (12"x12")
XY最佳行程	205mm x205 mm		305mm x 305 mm（满足大范围行程测试）
移动精度/分辨率	1.0 ?m (0.04 mils) (~0.8 mm/rev)
平面性	<10?m
theta行程	微调精度：± 15.0° (optional)*
	分辨率：7.5 x 10-3 gradient
运动控制	气控+无牙螺母控制

>针座平台

材料	钢镀镍
尺寸	见产品尺寸介绍第8页
最大针座数量	8 DC and 4 RF(取于针座配置)
Z-height运动范围	Max.0-40mm (取于卡盘配置)
Separation lift	3段：分离(300?m)，Load装载(5mm),不间断升降（0-40mm)
接触重复性	±1?m (0.08 mils)
RF 针座固定	磁力吸附/真空吸附
DC 针座固定	磁力吸附/真空吸附

>屏蔽腔电气规格

EMI屏蔽	>30 dB(typical) @ 1 kHz to 1 MHz
光衰减	≥130dB
光谱噪声基底	≤-180dBVrms/rtHz (≤ 1 MHz)
系统交流噪声	≤5 mVp-p (≤ 1 GHz)

?        通过提供完全的电磁屏蔽，超低噪音，不透光的环境，降低电噪声

?        可在低至-60℃条件下实现aA电流、fF电容和μV电压的测量

?        适合诸如 1/f 噪声测量等敏感应用的最佳测试条件

?        可提供-60°C 至 +300°C 的温度量测范围